产品图片	产品名称/型号	产品简单介绍
	日本YAMATO大型等离子清洗机 V1500X V1500X	大型等离子清洗机
	日本YAMATO大型等离子清洗机 PC1000-5030 PC1000-5030	配备大型样品室，适合大型基板清洗
	日本YAMATO大气压式等离子清洗机 YAP510S YAP510S	大气压（常压）等离子清洗机在电子材料方面的应用范围十分广泛
	日本YAMATO低温等离子灰化机 PR500/510 PR500/510	一种广泛应用于半导体分析工作上的气体等离子装置
	日本YAMATO等离子清洗机 PR1000 PR1000	滚筒式，大玻璃腔体
	日本YAMATO气体等离子灰化机 PB600/PB1000S/PA600D PB600/PB1000S/PA600D	PB系列产品主要采用等离子直接作用的DP工作模式，全自动运行控制，设定及操作简单。
	日本YAMATO自动化等离子处理装置 ISP500 Series ISP500 Series	生产线编入和独立使用型
	日本YAMATO低温等离子灰化机 PR300/301 PR300/301	一种广泛应用于半导体分析工作上的气体等离子装置
	日本YAMATO等离子清洗机 V1000/V1000X/V1000XS V1000/V1000X/V1000XS	用途：去除各种半导体材料表面的有机膜， 对材料表面清洗、重整，以及材料表面的蚀刻
	日本YAMATO等离子清洗机 PDC-200/210/510 PDC-200/210/510	用途：去除各种半导体材料表面的有机膜， 对材料表面清洗、重整，以及材料表面的蚀刻。